K8凯发(中国)

      光罩盒存储设备
      Reticle Stocker用于半导体洁净室内光罩盒存储及传送，可实现与天车自动对接，人工对接，保证光罩品质，从而达到提高晶圆厂整体产品良率的目的。MF Reticle Stocker 可适配带提拔和非提拔两种样式。

      可选配置：人工口/天车口数量/Purge 功能/Auto Teaching/RFID/无线供电
      功能亮点：

      亲和人机界面

      稳定系统集成

      符合SEMI标准的间距设计

      具备净化系统以及净化统计功能

      可与多家MCS对接

      Port口数量可灵活配置

      集成净化功能

      软件描述
      MSSC存储控制系统
      MeetFuture Smart Storage Controller
      给予对STK的智能化管理功能，遵循SEMI E88协议，接收客户上位系统如MCS的命令指派来实现对晶圆盒的入库和出库操作。配合3D相机，可快速实现AutoTeach 功能,方便工厂安装实施。支持RFID、SmartTag 等标签的读取。搭配K8凯发(中国)自研的RFID、SmartTag、E84模块，让设备读取成功率达到同行领先标准。

      应用场景：存储设备的控制与库存查询

      功能亮点：
      ▪ K8凯发(中国)智能存储控制系统采用了智能算法优化存储库的指令执行和货位管理逻辑缩短晶圆盒的存取搬运时间提高存储库出入库频次和利用效率。
      ▪ 支持与多种主流的MCS对接，方便系统开始实施。
      ▪ 支持多路气体流量、压力、湿度的实时监控。
      重要参数
      技术指标参数
      尺寸（长*宽*高）

      8300(可定制)*1430*5350 mm(可定制)

      重量（满载/空载）7.2t

      定位精度

      ±0.5mm

      存储类型

      Reticle

      洁净等级

      ≤Class100

      吞吐量

      ≥180Lot/H

      震动

      <0.5g

      噪音

      		＜75DB


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